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英國Ossila-Spin Coater

簡要描述:英國Ossila-Spin Coater操作簡單,方便實(shí)用,旋涂均勻,結(jié)構(gòu)小巧緊湊,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案,其采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的非真空卡盤式旋涂吸盤,無需真空泵或充氮?dú)?,就能達(dá)到很好的旋涂效果??蓪Υ笮〔煌?guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂,尤其是對超薄樣品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄時同樣能達(dá)到較好的旋涂效果。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,影響涂層的均勻性。

  • 產(chǎn)品型號:L20001
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-25
  • 訪  問  量:2433

詳細(xì)介紹

品牌Ossila/歐西拉價格區(qū)間5萬-10萬
產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè)

英國Ossila-Spin Coater

 

Spin Coater技術(shù)性能

  • 可在手套箱和通風(fēng)廚內(nèi)使用,基座面積僅為22.5x17cm。
  • 無需真空泵、充氮?dú)?,?jié)省保養(yǎng)維護(hù)費(fèi)用。
  • 創(chuàng)新設(shè)計(jì)非真空卡盤式吸盤,基材只需放置在卡盤式旋涂托盤適當(dāng)位置,無需抽真空,就能達(dá)到較好的旋涂效果。
  • 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面,堅(jiān)固的不銹鋼外殼,鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤,使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運(yùn)行。
  • 采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制,10個用戶自定義協(xié)議,每個協(xié)議下可設(shè)置10個程序,每個程序多50個步驟。
  • 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
  • 電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證運(yùn)行安全。
  • 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性<2%。
  • 轉(zhuǎn)速120-6000rpm。
  • 定時器1-1000秒。
  • 電源DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
  • 尺寸220x170x132mm。
  Spin Coater用于晶片基底材料的表面光刻膠涂覆。勻膠機(jī)由樣品臺、滴膠裝置和空心電動機(jī)組成,其工作原理是,通過在樣品臺上產(chǎn)生負(fù)壓將需要旋涂的基底材料吸附在樣品臺上,光刻膠液滴注在基底材料的表面,通過準(zhǔn)確控制電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度,以此來改變離心力的大小,同時通過控制膠液的流量來達(dá)到制備薄膜所需的厚度。

 

Spin Coater

 

  勻膠機(jī)在旋涂過程中會出現(xiàn)邊緣效應(yīng),這是由于在旋涂的過程中溶劑的揮發(fā)導(dǎo)致表面和邊界處光刻膠的濃度和黏度都增大,從而引起邊緣位置較中心位置要厚一些,因此基片邊緣需要經(jīng)過去邊處理。去邊處理包括基片正面和背面的化學(xué)去邊處理,以及基片正面的光學(xué)去邊處理。
  Spin Coater動態(tài)滴膠是指基片在旋轉(zhuǎn)的過程中將光刻膠滴注到基片的中心位置,通常旋轉(zhuǎn)速度不宜過快( 500/min),動態(tài)滴膠可以在保證快速地在基片表面將光刻膠鋪開的前提下,減少針孔的產(chǎn)生,也可減少光刻膠的使用量。

  • 左:普通旋涂機(jī)上有真空密封環(huán)形印跡     右:Ossila非真空式旋涂效果
 

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